研究級(jí)金相顯微鏡VMX6L

研究級(jí)金相顯微鏡VMX6L大行程移動(dòng)工作平臺(tái)，長(zhǎng)工作距半復(fù)消色差物鏡，圖像銳利清晰，廣泛應(yīng)用于晶圓、FPD等各項(xiàng)工業(yè)檢測(cè)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、VMX4L / VMX6L可以實(shí)現(xiàn)X、Y方向105mm-158mm的移動(dòng)范圍。

2、新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距專(zhuān)業(yè)金相物鏡,成像效果更好。

3、各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對(duì)比度的顯微圖像。

4、附件齊全,配置完善,可靈活進(jìn)行系統(tǒng)組合與功能拓展。

5、人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)、堅(jiān)實(shí)可靠的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。

觀察圖實(shí)例

豐富的觀察方式，滿足您的檢測(cè)需求

DIC微分干涉觀察

在正交偏光的基礎(chǔ)上 , 插入DIC棱鏡，即可進(jìn)行DIC微分干涉觀察。使用DIC技術(shù) ,可以使樣品表面微小的高

低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果，極大的提高圖像的對(duì)比度。可匹配帶DIC功能的物鏡，使整個(gè)視場(chǎng)的干涉色一致，

微分干涉效果非常出色,高倍物鏡DIC效果也較好。

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

1、工業(yè)檢測(cè)級(jí)顯微鏡體，低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架，極大的提高的系統(tǒng)的抗振能力與成像的穩(wěn)定性。

2、前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器，可以適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。

3、MX6R機(jī)型底座內(nèi)部設(shè)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng)，長(zhǎng)時(shí)間使用也不會(huì)使機(jī)架過(guò)熱。

高性能物鏡轉(zhuǎn)換器

1、VMX機(jī)型的轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制，根據(jù)MX系列機(jī)型配置及功能的不同，可以選擇不同型號(hào)的轉(zhuǎn)換器。

2、PI103C51型：明場(chǎng)5孔轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽，用于VMX4L/VMX4LT機(jī)型。

3、PI115C6BDI型：明暗場(chǎng)6孔轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽，用于VMX6L/VMX6LT機(jī)型。

不同的照明器可供選擇

1、明場(chǎng)反射照明器：?jiǎn)晤w大功率5W暖色LED照明，適用于VMX4L/VMX4LT機(jī)型。

2、明場(chǎng)反射照明器：柯拉照明系統(tǒng)，帶視場(chǎng)光闌與孔徑光闌，中心可調(diào)；帶斜照明裝置，適用于VMX4L/VMX4LT機(jī)型。

3、明暗場(chǎng)反射照明器：帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心均可調(diào)；帶明暗場(chǎng)照明切換裝置，適用于MX6R/MX6RT機(jī)型。

4、透射照明: VMX系列均可使用透反兩用機(jī)型。透射光源為單顆大功率5W暖色LED，  并帶有N.A.0.5聚光鏡。

5、透射照明與反射照明可獨(dú)立控制，即透反照明可同時(shí)開(kāi)啟，亦可單獨(dú)開(kāi)啟。

大行程移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)

1、VMX系列機(jī)型采用4〃/6〃平臺(tái)設(shè)計(jì)，不僅適用于相應(yīng)尺寸的晶圓及FPD檢測(cè)，而且可用于小尺寸樣品的陣列檢測(cè)。

2、VMX4L/VMX4LT：4英寸雙層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，移動(dòng)范圍105mm×105mm；VMX6L/VMX6LT：6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，反射照明移動(dòng)范圍158mm×158

3、mm，透射照明移動(dòng)范圍100mm×100mm；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng)。

4、通過(guò)使用平臺(tái)適配接口，所有平臺(tái)可在VMX系列機(jī)型之間通用。

超長(zhǎng)工作距金相物鏡

1、全*設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡，采用半復(fù)消色差技術(shù)，其使用的多層寬帶鍍膜技術(shù)，使整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)的成像清晰銳利，色彩自然，明亮舒適。

2、長(zhǎng)工作距設(shè)計(jì)，50X物鏡的有效工作距離7.9mm，100X物鏡的有效工作距離也達(dá)到了 2.1mm，更有20X超長(zhǎng)工作距金相物鏡，大幅拓展了VMX機(jī)型的同步設(shè)計(jì)了全套明暗場(chǎng)兩用物鏡，適用于 VMX6L 機(jī)型，暗場(chǎng)照明亮度比傳統(tǒng)暗場(chǎng)物鏡提高 2 倍以上。

無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈?zhǔn)饺坑^察頭

1、ETTR型正像鉸鏈三目觀察頭，所成像的方位與物體實(shí)際方位yi致，物體移動(dòng)的方向跟像面移動(dòng)的方向相同，便于使用者觀察與操作。適用于6英寸移動(dòng)平臺(tái)配合使用。

2、VMX4LTH30R型鉸鏈三目觀察筒，適用于4英寸平臺(tái)配合使用。

3、兩種類(lèi)型的觀察筒可以在VMX機(jī)型內(nèi)通用。

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品尺寸